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光學微電子工程中的空氣是如何過濾的？凈化分析方案
日期：2025-05-10 04:31
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摘要：
光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細-菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設計之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精-密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之**發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精-密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科...
光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細-菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設計之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精-密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之**發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精-密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。
光學微電子凈化工程凈化原理：
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細-菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。
傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。優(yōu)點：
A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精-確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
